Ilion II 系统
SEM样品制备
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采用低加速电压抛光制备无损的 SEM 截面样品
PECS II 精密离子刻蚀与镀膜系统
利用宽幅氩离子束对样品进行抛光和镀膜处理,从而得到高质量的SEM 成像和分析结果