太阳集团见好就收9728|首页_welcome

 
设为首页|加入收藏
太阳集团见好就收9728有限公司​​
谘询热线：​​
021-63179929​​
ke yang (SHANGHAI) co. LTD​​
搜索
HOT
热门关键词：
太阳集团见好就收9728  Gatan 
Autosamdri®-815B, Series B

Autosamdri®-815B, Series B

Smooth operation and precise control are the Supercritical Autosamdri®-815B´s trademark; wafer holders and inserts are provided that allow anti-stiction processing up to 5 pieces of either 4" (100mm), 3" (75mm), 2" (50mm) wafers or 10mm square die per process run!

0.00
0.00
  

Smooth operation and precise control are the Supercritical Autosamdri®-815B´s trademark; wafer holders and inserts are provided that allow anti-stiction processing up to 5 pieces of either 4" (100mm), 3" (75mm), 2" (50mm) wafers or 10mm square die per process run!

特点：
  • 4”圆晶MEMS释放后的超临界点干燥仪；
  • 通过微处理控制器来保证自动处理过程的进行及结果的可重复性；
  • 所有内表面均适用于液态二氧化碳、高纯乙醇和丙酮；
  • 可重复设定的操作参数确保了结果的可重复性；
  • 集成自动控温；
  • 内置圆盘裂片保证安全；
  • 可以一次干燥5片直径为4”的圆晶，更换样品架，也可以一次干燥5片直径3”、2”的圆晶或5片边长为10mm的方晶（提供HF兼容的样品架）；
  • 静态压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性；
  • 0.4μm内部过滤器系统输送清洁的过滤后的LCO2到样品室；
  • 内腔有照明灯，样品室盖子带观察窗，便于观察样品室内部状态；
  • 拥有高效隔热的冷却系统，使系统能够迅速从室温降到将近0°C；
  • 每个操作模式LED显示，一目了然;
  • 洁净室和防静电兼容设计；
  • 标配SOTERTM冷凝器，分离废弃乙醇和废气二氧化碳。
  • 样品室填块可以调整样品室内径到3”,2”,1.25”,使LCO2的使用效率和处理时间达到最大化;
  • 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准；


规格：
  • 外部尺寸：宽14.25” (36.2 cm) × 高11.75” (29.8 cm) × 长25.0” (63.5cm)；
  • 占地尺寸：宽42” (107 cm) × 深30” (76 cm)；
  • 样品室尺寸：内径4.5” × 深1.25”，样品室容积：326 ml;
  • 温度范围：- 30 ℃ 至 60 ℃，压力范围：0 - 2000 psi；
  • LCO2的流速是通过带游标卡尺的微型微型计量阀门来控制；
  • 120V/50-60HZ(可选其他电压)；


标准配件：
  • 高压不锈钢LCO2管（内衬Teflon） 3 米长；
  • 外部LCO2过滤装置，去除水/油以及颗粒（小至0.5μm），过滤装置可预先与LCO2管连接，安装方便；
  • SOTERTM冷凝器，分离废弃乙醇和废气二氧化碳，降低排气噪音；
  • 防静电排气管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL时的排气；
  • 内部的不锈钢过滤系统和镀镍的过滤系统共同保护线路、晶片和阀门
  • 样品室O型圈3个，样品室照明灯2个，5A保险丝2个；
  • 3个Teflon样品室填块,使得样品室直径包括4、3、2和1.25英寸;
  • 直径为4、3、2英寸圆晶的样品架和边长为10 mm方晶样品架,样品架HF兼容；
  • 流量计，可精确控制BLEED的排气速率；
产品中心